SDS供液系统：为CeO2研磨液供应设备，主要用于对半导体行业的CMP机台进行供液，各过程均为全自动控制，有效减少人工，高效快捷，均可实现可视化管理和人机界面控制。

CDS供液系统：为HF酸溶液稀释及供应设备，主要用于清洗机台的供液，各过程均为全自动控制，有效减少人工，高效快捷，均可实现可视化管理和人机界面控制。